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【真空镀膜机】电子枪高压电源原理

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  真空镀膜机电子枪高压电源是该设备比较复杂而且容易出故障的部分, 它由高压部分和自动复位部分组成。高压部分包括三相高压变压器, 三相桥式整流,RC 阻容吸收网络, 高压分压器。自动复位部分包括主开关电路, 电流检测电路, 栅压切换电路, 帘栅控制电路。图2 是电子枪高压电源方框图。电子枪工作中因某种原因产生高压打火现象时, 在打火瞬间, 高压近似被短路,真空镀膜机电子枪就不能正常工作, 由于自动复位电路的作用, 会在 40m s 内切断高压输出, 又在 50m s 后恢复高压输出, 这个瞬变的过程即是自动复位的过程, 它是保证电子枪连续正常工作的必要条件。

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