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真空镀膜机故障(二)

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  真空镀膜机故障二:无束流时, 高压指示不稳定
在正常情况下, 即使有束流高压指示也该稳定, 那么无束流时高压指示不稳定, 高压表指针在3 kV~ 6 kV 之间来回摆动, 就属于不正常情况。从原理上分析, 高压电源和负载有问题都会出现这种现象。为了便于排查, 先将高压电源和负载脱开, 故障依旧, 说明问题不在负载方面, 而是在高压电源内部。高压电源是由高压部分和自动复位部分组成, 若是这两部分中的真空镀膜机元器件性能变差都会出现高压指示不稳定。将高压部分与自动复位部分脱开,用高压表测量高压部分输出, 电压为+ 6 kV (或+ 10 kV ), 而且指示很稳定, 说明高压部分的元器件没问题。为了判断自动复位部分的主开关电路是否正常, 可以采取替换方法或其它方法来判断, 若还是不正常, 说明自动复位部分中的电流检测电路、栅压切换电路存在问题。在实际维修过程中, 发现电流检测电路中C-1、C- 2、C- 3、C- 18、C- 20 这 5 根输入输出线对高压均有影响, 见图 3, 其中有两根对高压的影响最大。估计是原有的设计不尽合理, 形成分布电容,再加上元器件的老化, 使得电路的工作点改变。在对同类型真空镀膜机的设备进行检查时, 也发现了类似的故障。这说明DM F- 700 镀膜机在出厂时就存在着故障隐患, 为此采取了相应的处理办法, 消除了故障, 使高压指示恢复了正常。

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