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真空镀膜机故障(三)

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  真空镀膜机故障 三 、有束流时, 高压指示频繁的摆动
在正常工作时, 高压出现较小的打火是经常发生的, 因为有自动复位部分的保护, 使得那些较小的打火会被自动复位部分中电容滤掉, 不会对高压电源的主开关管进行切断。
真空镀膜机有束流时, 高压指示频繁的摆动, 就是高压出现连续性的过流打火, 自动复位部分开始动作, 使得高压电源的主开关管始终处在切断和导通这两种状态 反映在高压表上就是指针频繁的摆动。
在实际维修过程中发现, 有时出现这种故障并不是高压电源内部的原因 而是真空室内有污染。主要是设备使用多年钟罩内上壁聚集了许多蒸镀的材料。在有束流的情况下, 会产生二次、三次电子, 从
而产生较大的假束流 使得主开关管不停的导通和截止, 高压指示就不稳定了。
消除这种故障, 可先将电子枪、坩锅、高压电极进行彻底地清洗, 如故障还没有消除, 再将钟罩内所有的器件和钟罩内壁进行彻底的清洗, 往往故障即被消除, 高压指示不再频繁的摆动。

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