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华宇真空电镀设备小贴士:真空镀膜机操作程序(一)

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   真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书
  和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
  ① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
  ② 打开总电源开关,设备送电。
  ③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
  ④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
  ⑤ 落下钟罩。
  ⑥ 启动抽真空机械泵。
  ⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。
  a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
  b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
  ⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
  ⑨ 真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。
  ⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
  ⑪ 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
  a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
  b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

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