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真空镀膜(铝)机怎么操作?

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无论何种设备,大体相似:先清洗好材料(如工件和铝料),然后真空室充气,再打开真空室,装好材料,再关闭真空室,开枪械泵或直联泵抽低真空,达到预真空要求后,开扩散泵或分子泵,达到高真空要求后,开前烘,到温度后开高压,预置偏转电压,确保档板关闭,开电子枪缓慢加电子束流,确保电子束打在铝料正中,加大电子束电子流到要求值,稳定约一分钟后开档板,到时间要求后关档板,关电子枪,关高压,关加热电源降温,到温度后关扩散泵或分子泵,关枪械泵或直联泵,真空室充气,取出工件,检测铝膜质量并记录。

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