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真空镀膜设备通用技术条件

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  人民共和国国家标准真空镀膜设备通用技术条件 Vacuum coating plant generic specification
一、范围:本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10-'- 10-'Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)
二、引用标准:下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效,所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB 1 91- 199。包装储运图示标志
GB / T 6070-1995 真空法兰
GB /T 1 3384-1992 机电产品包装通用技术条件
JB /T 7 673-1995 真空设备型号编制方法
三、定义本标准采用下列定义。
3.1 极限压力真空系统正常工作时,空载千燥的镀膜室逐渐稳定的最低压力。单位:Pa,
3.2 抽气时间真空系统正常工作时,将空载干燥的镀膜室从大气压(105Pa)抽到规定的压力所需要的时间。单位:M Ino
3.3 升压率将空载干燥的镀膜室连续抽气至稳定的最低压力后,截止抽气,在镀膜室内由于漏气或内部放气所造成的单位时间的升压。单位:Pa/h,
四、技术要求
4.1 设备正常工作条件
4.1.1 环境温度:10-30'C.
4.1.2 相对湿度:不大于75000
4.1.3 冷却水进水温度:不高于25'C。
4.1.4 冷却水质:城市自来水或质量相当的水。
4.1.5 供电电源:380 V、三相、50 Hz或220 V、单相、50 Hz(由所用电器需要而定);电压波动范围342-399 V或198-231 V;频率波动范围49-51 Hz,
4.1.6 设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书中写明。
4.1.7 设备周围环境整洁,空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
4-2 设备技术参数
4.2.1 设备的主要技术参数应符合表1的规定.
4.2.2 设备的型号应符合JB/T 7673的规定。表 1 参数名称参数数值 参数数值 1 真空镀膜设备镀膜室尺寸分档,mm 320、500、600、630、700、800、900、1 000、1200、1250、1400、1600、1800、2000 2 真空指标 分档 A B 极限压力,Pa 《5 X 10-4 《5X10-3 抽气时间,min (10 5-7X10-3Pa《20 (10 5-7X10-2Pa)《10 升压率,Pa/h 《8X10-1Pa 《2.5 3 沉积源型式、尺寸、数t及最大耗电功率 4 工件架指标 工件架尺寸及转动方式、工件烘烤方式及烘烤温度 5 离子轰击,工件偏压功率 6 膜厚监控方式及控制精度 7 设备控制方式 8 设备最大耗电量备注:1所列镇膜室的几何尺寸。对圆往式室体为圆柱内径,对箱式室体为箱体内宽度。带份号尺寸优先选用,其他尺寸 和其他结构形式的设备可由制造厂参照上述尺寸决定。专用设备由用户与制遣厂另订协议。2本尺寸分档作为推荐值,不作考核.

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