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真空镀膜设备选用要点

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        ▲炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

  ▲真空镀膜设备根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

  ▲夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。

  ▲真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

  ▲根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。

  ▲充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。

  ▲真空镀膜设备根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。

  ▲根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

  ▲完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

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